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高純度鋁濺射靶材
- 批處理式自然氧化膜去除設備 RISE-300
  
  批處理式自然氧化膜去除設備 RISE-300
  
  RISE系列
  
  批處理式自然氧化膜去除設備RISETM-300是用于去除位于LSI的Deep-Contact底部等難以去除的自然氧化膜的批處理式預清洗裝置?？商幚?00mm，300mm尺寸晶圓。
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